PECVD Diamantschichten

Die Qualität dünner Diamantschichten hat sich über die vergangenen Jahre stetig verbessert. Durch die Möglichkeit, poly- oder nanokristalline Diamantschichten auch bei niedrigen Substattemperaturen (bis zu 300 bis 400°C im Vergleich zu anfänglich 1.000°C) homogen und dicht abzuscheiden, hat sich die Anzahl interessanter Applikation deutlich erhöht.

Unsere NCS 6-300 und NCS 3-150 Plattformen nutzen die lineare koaxiale Antennentechnologie für die Plasmaerzeugung mit Mikrowellen. Mit Hilfe gepulster Leistung können hohe chemische Umsatzraten erreicht werden, ohne das Substrat gleichzeitig mit einem hohen Wärmeeintrag zu belasten.

Die Substrattemperatur wird unabhängig kontrolliert über Infrarotheizer bzw. Gaskühlung. Temperaturfühler, Heizer, Kühler und Substratträgerplatte aus Molybdän sind in einer Umhausung aus Strahlblech auf einer in z-Richtung beweglich Monatageeinheit integriert, die bei Bedarf auch rotiert werden kann.

Die NCS 6-300 und NCS 3-150 können mit Schichtrezepturen komplett angeboten werden, wobei das Prozess Know-how von unserem Partner Nano6 entwickelt wurde.

 

 

 

Diamant

Neben seiner großen Bedeutung als kovalenter Bestandteil eines Großteils aller organischen Moleküle auf diesem Planeten deutet sich ein weiteres, derzeit kaum abzuschätzendes Potential dieses einzigartigen Elements an - das des Kohlenstoffs als Kristallbaustein. Zwischen den bekannten Formen Graphit und dem härtesten bekannten Material, dem Diamant, gibt es mittlerweile eine ganze Reihe von Kohlenstoffmaterialien mit teilweise einzigartigen Eigenschaften. Basierend auf der revolutionären Entdeckung der Diamantsynthese im Vakuumverfahren und der damit möglichen Kontrolle über verschiedene Morphologien, der Synthese diamantartiger Kohlenstoffschichten (DLC), den Buckminster Fullerenen und Nanotubes sind jetzt Graphene in den Fokus von Forschung und Entwicklung geraten, ein extrem dünnes Material mit bisher nicht gekannten optischen, elektrischen und mechanischen Eigenschaften.

 
 

Beschichtungstechnologie

 

Wir bieten kundenspezifische Lösungen im Bereich des Magnetron Sputterns und der plasmachemischen Gasphasenabscheidung (PECVD), sei es als es Komponenten oder Komplettlösungen. Komplettiert wird unser Portfolio durch Verbesserungen und Umbauten bestehender Systeme.

Prozesse

 

Unser umfangreiches Know-How in der Vakuumbeschichtung ermöglicht es uns, Lösungen für ein breites Spektrum an Oberflächenfunktionalisierungen kostengünstig anzubieten. Sollte unsere eigene Kompetenz nicht ausreichend sein, können wir durch unsere gute Vernetzung gegebenenfalls auch auf externes Fachwissen zurückgreifen.

Schichtanalyse / QS

 

Neben der Wirtschaftlichkeit ist die Gewährleistung der Eigenschaften von wesentlicher Bedeutung für die Abscheidung dünner Schichten. Wir verfügen über notwendige Analysemethoden zur Beurteilung der Qualität dünner Schichten und möglicher Ursachen im Versagensfall.

Beratung

 

Wir stellen unsere langjährigen Erfahrungen auch als Beratungsleistungen zur Verfügung. Ob es sich um Wirtschaftlichkeitsbetrachtungen oder um technologische Verbesserungen, Produktivitätssteigerungen oder Fehleranalysen an Vakuumbeschichtungsanlagen handelt, unsere Spezialisten können (fast) immer helfen.