Beratung
Der Erfolg jeglicher Verfahrenstechnik ist neben Prozeßstabilität und Reproduzierbareit auch immer eine Frage der Wirtschaftlichkeit. Dies gilt insbesondere auch für Vakuumplasmaverfahren, die oft im Wettbewerb zu atmosphärischen Verfahren stehen. Entscheidend für wettbewerbsfähige Verfahren sind die Kosten für Verbrauchsmaterialien und die Investitionskosten für die Anlagentechnik. Wie sehr sich dabei die Kostenstrukturen von Vakuumbeschichtungsanlagen und -prozesse dabei unterscheiden können, verdeutlich das Beispiel: PECVD von Diamant vs. PECVD von amorphem oder mikrokristallinen Silizium. Die Kosten von Diamantprozessen sind deutlich getrieben von den Anlageninvestitionskosten, die Kosten von Siliziumprozessen dagegen von den Verbrauchsmaterialien. Der Kostentreiber ist das Silan, denn beide Prozesse basieren auf Wasserstoff.
Die Kostenstruktur von Sputterprozessen unterliegt den gleichen Rahmenbedingungen wie die der PECVD Prozesse. Auch hier sind die Kosten für die Verbauchsmaterialien, wie Sputtertargets, von entscheidender Bedeutung Aus der Kostenstruktur leiten sich die Kernthemen unserer Beratungsleistung ab: - Wie können die Kosten für Verbrauchsmaterialien gesenkt werden? Welche Maßnahmen zur verbesserten Materialausnutzung sind sinnvoll? - Wie kann der Durchsatz gesteigert werden, um schnelleren Return-on-invest zu erreichen?
