NMS450 Noble Metal Sputtering System
mit 450 mm Targetlänge

Eine kompakte Maschine für die materialsparende PVD-Beschichtung von 3D Objekten mit Edelmetallen

 

  • entwickelt für wirtschaftliches Magnetron-Sputtern von Edelmetallen
  • hochwertige und wirtschaftliche Beschichtung komplexer, dreidimensionaler Objekte
  • effiziente Batch-Beschichtungsanlage, hohe Produktivität
  • praktisch keine Materialverluste
  • umweltfreundlich

 

 

 

      

 

 

           

 

 

 

Die generellen Vorteile gesputterter gegenüber galvanischer Beschichtungen liegen auch für Edelmetalle oder sonstiger teurer Materialien klar auf der Hand. Die höhere Dichte, bessere Haftung (zum Teil auch ohne haftvermittelnde Schichten), die bessere Abriebfestigkeit, höhere Leitfähigkeit und nicht zuletzt die chemikalienfreie, abwasserschonende Herstellung der Schichten legen Magnetron-Sputtern als die geeignete Wahl zur Verbesserung der Qualität, Langlebigkeit und Nachhaltigkeit funktionaler und dekorativer Beschichtungen vieler Bauteile nahe.

 

In unserer Batch-Beschichtungsanlage NMS450 können Substrate in einem Volumen von bis zu Ø 120 mm x 400 mm 3D beschichtet werden. In der Maximalausstattung sind ein Hochfrequenz (RF) -Ätzer und zwei Sputterstationen vorgesehen. Die Beschichtungsstationen sind so ausgestaltet, dass die Materialausbeute des Sputtertargets maximiert wird: Das während des Beschichtungsprozesses nicht auf dem Substrat abgeschiedene Material wird entweder auf dem Target redepositioniert und steht zur weiteren Beschichtung wieder zur Verfügung oder scheidet sich auf den im Verhältnis zum Target kleinen Sputterschutzblechen aus Kupfer bzw. auf den Substrathaltern ab. Diese Teile können auf einfache Weise recycelt und das wertvolle Material zurückgewonnen werden. Es gibt somit praktisch keinerlei Materialverluste des Edelmetalls, wie es bei konventionellen Sputteranlagen der Fall wäre.

 

 

  

      

 

 

Am Beginn eines jeden Betriebszyklus (Batch) in der voll ausgestatteten NMS450 werden sechs Substrathalter mit den zu beschichtenden Substraten gleichzeitig in die Anlage eingebracht. Alle Substrathalter mit ihren Substraten werden schrittweise in die verschiedenen Prozessstationen eingefahren, nacheinander geätzt (Oberflächenkonditionierung) und mit zwei (Edel)-Metallen beschichtet. Die große Grobvakuumpumpe und die über ein Hochvakuum-Ventil zuschaltbare Turbomolekularpumpe sorgen neben eines guten Basisdrucks auch für kurze Pumpzeiten und damit für hohe Produktivität. In der Anlagensoftware können verschiedene Rezepte für die Beschichtungsdurchgänge hinterlegt und abgerufen werden.

 

Die kompakte NMS450 verfügt über alle zum Betrieb notwendigen Aggregate. Lediglich elektrische Zuleitung, Pressluft, Prozessgas, ein Abluftschlauch und wenn gewünscht LAN für die Fernwartung müssen angeschlossen werden. Neben der speicherprogrammierbaren Steuerung (SPS) mit PC und Bedienerbildschirm und der integrierten Wasserkühlung als Grundausstattung sind ein Hochfrequenz-Generator zum Konditionieren (Trockenätzen) der Substrate und bis zu zwei DC-Sputterstromversorgungen im Schaltschrank untergebracht. Als Option sind unter Verwendung gepulster DC-Sputterstromversorgungen mit zusätzlichen Gasen ausgewählte Reaktivprozesse zur Abscheidung von Metalloxiden, -nitriden und –carbiden möglich.

 

Targetmaterial sparend konzipiert eignet sich die NMS450 sehr gut für die Beschichtung verschiedenster funktionaler und dekorativer Anwendungen. Neben dem wirtschaftlichen Umgang mit teuren Materialen ist auch ihre echte 3D-Fähigkeit hervorzuheben. So stellt die NMS450 auch eine sehr gute Plattform für die hochwertige und wirtschaftliche Beschichtung komplexer, dreidimensionaler Objekte aus weniger wertvollen Materialien dar.

 

Laden Sie sich hier unseren offiziellen Informations-Folder herunter: NMS450 nobel metal coating system

 

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