18.08.2025
NCS – 纳米晶体系统
通常该标准系统平台由多个铝合金框架和法兰组成，这些框架和法兰内置水冷系统，并承载着工艺气体供应管道、等离子体源阵列、基片载具单元以及真空抽气端口。
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