滚动

通过管状靶材在等离子体区域(即靶材侵蚀发生处)的持续旋转,可实现靶材的高效冷却,这使得靶材表面功率密度可达平面靶的2-3倍。更高的功率密度自然提升了磁控溅射阴极的可实现沉积速率,从而显著提高其成本效益。


 

 

RTM 25/80

RTM 25/80
带紧凑端块的旋转管式磁控溅射靶系统

RTM 25/80管状阴极采用模块化设计。紧凑端块集成有靶管旋转驱动系统和0-360°磁场旋转机构,同时集中了所有控制接口、溅射电源接口和冷却水接口。可通过加装轴套适配特定设备结构。



磁场系统和靶材冷却装置作为集成单元被封装在靶管内。标称靶长可按50毫米增量在200至1000mm范围内自由选择。

端盖用于封闭靶管,可扩展加装对向轴承,从而实现更长靶长(约2000mm)的配置。

主要技术特点

  • 端块兼容直流(DC)、交流(AC)、单极和双极脉冲电源
  • 靶管内高效冷却水路设计,支持阴极任意安装方位运行
  • 配备可360°旋转的电机驱动磁场系统
  • 适用于各种靶材(适配Ø80毫米支撑管,无对向轴承时最长1米;加装对向轴承可延长)
  • 端块与管道冷却系统设计支持最高30千瓦电功率
  • 实现均匀靶材侵蚀


更多产品

PECVD - CBR
更多
PECVD - NCS 12 / NCS 48
更多
PVD - NMS 250 / NMS-BM 270
更多
PVD - RTM 25/80
更多
废水处理
更多
打印
TOP
Diese Webseite verwendet Cookies
Wir verwenden Cookies, um Inhalte, Funktionen und Anzeigen personalisieren zu können und die Zugriffe auf unsere Website zu analysieren. Bitte treffen Sie Ihre Auswahl, um den Funktions-Umfang unserer Cookie-Technik zu bestimmen.