磁控溅射PVD技术

此技术采用特殊排布的永磁体产生磁场，在待溅射靶材表面附近，通过电能或电磁能激发形成特定形态的等离子体放电。通常，溅射等离子体放电会形成所谓的闭合跑道形状。等离子体中的氩离子被加速轰击靶材，产生靶材物质的蒸汽，这些蒸汽将在基板上冷凝形成薄膜。