18.08.2025
RTM – 旋转管式磁控管
采用管状靶材的磁控溅射阴极已广泛取代平面靶设计。溅射过程中靶管持续旋转的特性，使该技术在沉积速率、材料利用率和经济效益方面较平面磁控溅射阴极具有显著优势。
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