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真空系统整体布局设计

W&L技术团队在真空系统设计与运行方面拥有丰富经验，所涉系统通常包含带或不带进出料舱的真空腔体、真空计、管路、阀门及各类真空泵组。确定基础真空压力不足是源于器壁水汽/气体解吸还是真空泄漏往往具有挑战性。另一方面，针对特定目标压力与气体流量的真空系统布局设计可能相当复杂，因为需要做出关键决策，而失误可能导致高昂代价。