真空系统整体布局设计
W&L技术团队在真空系统设计与运行方面拥有丰富经验，所涉系统通常包含带或不带进出料舱的真空腔体、真空计、管路、阀门及各类真空泵组。确定基础真空压力不足是源于器壁水汽/气体解吸还是真空泄漏往往具有挑战性。另一方面，针对特定目标压力与气体流量的真空系统布局设计可能相当复杂，因为需要做出关键决策，而失误可能导致高昂代价。
设备拥有成本评估
投资基于真空工艺的系统设备需要审慎决策，在此过程中，拥有成本（Cost of Ownership）估算至关重要。W&L技术团队在此领域具备全面经验，可提供涵盖PECVD和磁控溅射等工艺系统的可靠基准数据支持。
